无隔板高效空气过滤器规格参数简介
当今洁净工程中最常见的高效过滤器品种。用于各种洁净厂房的末端过滤、洁净工作台过滤。无隔板高效过滤器已经替代了大部分传统有隔板高效过滤器。
效率规格：
普通HEPA过滤器的效率≥99.97%（0.3μm粒子，或DOP法、钠焰法）；
ULPA的效率≥99.999%（MPPS法，0.1-0.2μm粒子扫描，0.12μm粒子）。
尺寸规格：
边框宽度为203,305,610,762,9151219,1524,1829（mm），其中最常用的尺寸为610mm*610mm和1219mm*610mm；
过滤器厚度为60-90mm。
过滤材料：
玻璃纤维滤纸，聚四氟乙烯纤维滤纸（新材料，尚未普及）
外框：
铝型材，不锈钢
滤纸间分隔物：
热熔胶，丝线，玻璃纤维枝条。
测试：
出厂前必须经过逐台性能检验。当前最流行的方法是使用计数器进行扫描检验。
测试风速为0.45m/s时，过滤器各点的风速波动不超过±20%。
用于线宽≤0.5μm的芯片厂时，过滤器无任何挥发物，检测时不使用液态粉尘。
